2025SEMICON CHINA :东方晶源新品DR-SEM r655备受瞩目 [复制链接]

80
 
东方晶源多年来深耕电子束检测领域,其电子束缺陷检测设备EBI与关键尺寸量测设备CD-SEM先后实现国产替代零的突破,并获市场认可。
2023年初,东方晶源推出DR-SEM r600,搭配3通道电子成像技术与新型设备平台,在客户端完成量产验证,为后续开发奠定了基础。经过两年时间迭代研发,东方晶源最新一代DR-SEM r655产品将搭载全新的高性能电子枪和光学检测模组,以及升级版传片系统和算法系统,突破一系列技术难点,满足国内先进制程产线应用需求。

ChMkK2fkv4KIDMDRAADzNrzXrOwAAqergBiiuYAAPNO529.jpg

ChMkK2fkv4KIDMDRAADzNrzXrOwAAqergBiiuYAAPNO529.jpg


电子束检测成像:5通道探测器覆盖更广泛的检测需求
  • 全方位缺陷表征:4个侧向探测器支持全角度形貌扫描,显著提升缺陷立体成像效果,助力工程师精准判定缺陷类型与成因,尤其对浅刮伤等微小缺陷的复检成功率提升明显。
  • 材料衬度解析优化:顶端探测器增强背散射电子信号接收能力,精准捕捉材料衬度差异,满足先进制程对多种应用场景的需求。
  • 高深宽比工艺兼容:配合高加速电场设计,适配高深宽比结构检测,性能对标国际成熟机型。
    光学检测升级:突破灵敏度极限
    针对无图形晶圆缺陷复检需求,最新一代的r655通过两项核心改进实现突破:
  • 光路优化:调整缺陷接收光路,缩小与目标缺陷尺寸的检测差距。
  • 深紫外光源系统:基于自研光路和定制开发的国产深紫外激光源,光学检测灵敏度提升至20nm,未来可进一步优化性能。

    ChMkK2fkv4KIG59NAAGCwepIQ7cAAqergBjfjQAAYLZ801.jpg

    ChMkK2fkv4KIG59NAAGCwepIQ7cAAqergBjfjQAAYLZ801.jpg


    效能跃升:产能对标国际水平
    r655通过平台级升级,全面优化晶圆吞吐效率:
  • 传输与运动控制:缩短晶圆传输时间,配合新一代电子光学系统加速缺陷抓取,处理速度接近国际一线设备。
  • 模块化扩展设计:新平台具备灵活的可拓展性,支持多个选配模组和升级需求,兼容先进制程的多样化检测需求,确保设备长期技术竞争力。
    未来布局:智能化与国产化深度融合
    东方晶源以“高性能优化(HPO)”为核心理念,前瞻性整合DR-SEM与GDS-Design系统,通过智能算法提升缺陷抓取率,推动检测流程自动化。此举旨在通过自主创新,突破关键技术瓶颈,走出自研设备的道路,为半导体产业链自主可控提供坚实支撑。
    结语
    从技术攻坚到产能突破,东方晶源DR-SEM系列产品持续以务实创新回应市场需求。r655的推出,标志着国产电子束检测设备在精度、效率与智能化领域迈入新阶段,为我国半导体先进制程发展注入强劲动能。
  • 80
    举报

    本版积分规则

    创意玩法 更多玩法>
    玩家测评 加入测评>
    统计
    本周明星用户
    • admin
      发帖达人
      admin

      每天发N帖,记录在社区成长的点滴

    • 嘉嘉嘉
      火爆写手
      嘉嘉嘉

      敏锐洞察者,产品达人,激情小马达,新晋大神。

    • 彭明
      人文骚客
      彭明

      博古通今,人肉百科全书,文人气息浓郁的本宝宝。

    发表主题 回复

    加入贴单

    贴单,为家庭互联网而生

    Copyright 2015-2025 贴单网 陕ICP备2023003579号 All Rights Reserved